重庆理工大学学报（自然科学） ›› 2019, Vol. 33 ›› Issue (6): 65-71.
孟 瑶，周启武，郑方燕，刘小康，施 海
摘要： 纳米时栅采用交变电场构建匀速参考系，实现空间到时间基准的溯源，提高了测量精度。提出一种基于交变电场的直线式位移时栅传感器。为进一步提升传感器测量精度并实现高精度测量，研究了电气参数对纳米时栅精度的影响，分析了传感单元之间的阻抗特性。针对影响电场分布的阻抗进行分析研究，首先建立传感器的电路模型，依据对电路方程的推导以及电气参数的仿真，分析了阻抗特性引入的误差规律。制作了传感器样机，并搭建实验平台进行了精度测试，验证了推导误差规律，同时借助时空转换原理修改激励信号参数，消除了阻抗特性带来的影响，最终传感器对极内精度达到±0.4μm。
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主管单位：重庆市教育委员会