摘要： 选取某真空系统为研究对象，该系统主要由真空泵、真空室和管道等元件组成。运 用流动系统的一维仿真软件 Ｆｌｏｗｍａｓｔｅｒ计算真空系统在特定工况下的抽气速率、压力、密度等 参数随时间的变化规律。首先采取与理论方法、Ｆｌｕｅｎｔ三维方法计算简单系统模型对比的方 式，验证 Ｆｌｏｗｍａｓｔｅｒ对真空系统计算的有效性，然后运用 Ｆｌｏｗｍａｓｔｅｒ模拟计算多元件且结构复 杂的真空系统。研究表明：对所研究的真空系统，Ｔ型管产生的局部阻力比管道沿程阻力对气 体压降和密度影响更大，对达到特定压力指标所需时间的影响随着抽气过程逐渐减小；整个抽 气过程中真空系统管道基本处于湍流状态。Ｆｌｏｗｍａｓｔｅｒ计算与理论计算、Ｆｌｕｅｎｔ模拟结果变化 趋势一致，偏差较小，表明应用流动系统尺度的一维软件，可以有效分析多元件且结构复杂的真 空系统问题。

关键词: 真空系统；抽气性能；Ｆｌｏｗｍａｓｔｅｒ；一维仿真

中图分类号: 

• O368