重庆理工大学学报(自然科学)

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氮气含量对反应射频磁控溅射制备CrNx薄膜组织与性能的影响

陈勇,李晖,许洪斌,等   

  • 出版日期:2012-12-25 发布日期:2012-12-26

  • Online:2012-12-25 Published:2012-12-26