摘要： ＭＥＭＳ广泛应用于智能手机、３Ｄ打印等领域，ＭＥＭＳ动态性能测试对故障定位，优 化ＭＥＭＳ设计、加工工艺，降低封装成本具有重要意义。分析了ＭＥＭＳ微运动测试系统方案和 原理，以图像处理为核心，通过计算机显微系统，引入频闪同步控制技术，构建了一套频闪微视 觉ＭＥＭＳ动态测试系统，并以ＭＥＭＳ谐振器为例，激励正弦振动信号，驱动谐振器作正弦振动， 对频闪微系统采集的图像序列进行观察和分析。Ｍａｔｌａｂ计算仿真结果表明：该方法有效估计了 谐振器的运动特性，具有较高的应用价值