摘要： 利用磁控溅射ＷＯ３陶瓷和金属Ａｇ靶的方法在玻璃衬底上沉积ＷＯ３及弥散Ａｇ粒 子的ＷＯ３薄膜，通过ＳＥＭ、ＸＲＤ、Ｒａｍａｎ谱和ＵＶＶｉｓ光谱等技术考察共沉积Ａｇ层在薄膜表层 和里层分布对ＷＯ３薄膜表面形貌、分子振动模式和光吸收特性的影响。结果表明：共沉积Ａｇ 层不仅显著地影响了ＷＯ３薄膜的Ｒａｍａｎ谱和光吸收特性，而且分布在薄膜表层和内层的Ａｇ粒 子能有效地修饰ＷＯ３薄膜表面微观结构，为改善ＷＯ３薄膜的结构和光学特性提供了一种有效 的方法。