重庆理工大学学报(自然科学)

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扫描电子显微镜成像模式在金属材料研究中的选用

杨显,胡建军,郭宁,等   

  • 出版日期:2018-07-25 发布日期:2018-08-08

  • Online:2018-07-25 Published:2018-08-08

摘要: 介绍了扫描电子显微镜的电子成像原理、特点及常见的3种信号探测器,分析了扫 描电子显微镜成像技术中二次电子(SE)和背散射电子(BSE)信号与金属材料表面形貌、原子 序数及晶体取向信息的表征关系。以经电子束表面处理不锈钢的熔坑、退火态球墨铸铁组织表 征以及热扩渗40Cr钢渗层组织研究为例,详细阐述了普通SE、高分辨二次电子(InLens)及 BSE三种成像模式在金属材料研究中的应用特点及选用。