氮化物应力膜 SOISiGe异质结双极晶体管的频率特性研究
刘培培1, 文剑豪1, 魏进希1, 王冠宇1, 周春宇3
重庆理工大学学报(自然科学) . 2021, (5): 163 -169 .  DOI: 10.3969/j.issn.1674-8425(z).2021.05.022