摘要： 针对目前NO2传感器响应低、恢复速度慢、功耗高等问题，提出一种用于空气绝缘分解气体NO2检测的金属钯Pd掺杂MoSe，基气体传感方法。制备了本征MoSe，气敏传感器与Pd-MoSe，气敏传感器，并基于所搭建气敏响应测试平台研究其对NO，的气敏响应特性，利用第一性原理计算NO2在MoSe，晶面上的吸附参数和吸附行为。经过气敏特性测试发现：室温工作时，Pd-MoSe，气敏传感器对20 pL/L NO2的响应值为3.95，响应时间和恢复时间分别为38s 和46 s，可实现2 pL/L NO2的有效检测。理论计算结果表明：本征MoSe，对NO2的吸附为弱物理吸附，而 Pd-MoSe，表现为强化学吸附。研究结果可为高性能MoSe，气体传感器的制备及其在NO，在线监测中的应用提供借鉴。

关键词: 空气绝缘分解气体；硒化钼；NO2；气敏传感器

中图分类号: 

• TM213