摘要： 针对现有一维时栅位移传感器的电气系统无法与平面二维时栅位移传感器相匹配， 需要外接多个信号处理电路，系统集成度低，且极易产生电气误差等问题，设计了适用于二维时栅 位移传感器的电气系统。根据平面二维时栅位移传感器的测量原理，分析了电气系统产生的误 差，设计了电气系统的三大核心模块：激励信号发生模块、感应信号处理模块和位移解算模块，并 通过 Ｍｕｌｔｉｓｉｍ对电气系统的信号进行仿真，验证了电气系统的可行性。实验表明：该电气系统实 现了平面二维时栅传感器高速、高分辨率的实时采样，同时有效降低了由电气系统带来的误差对 传感器测量精度的影响，为制作高精度平面二维时栅位移传感器提供了技术支持。

关键词: 二维时栅位移传感器；电气系统；电路仿真；Ｍｕｌｔｉｓｉｍ

中图分类号: 

• TH7